第593章【新的技术痛点——光刻胶】
蔚蓝海岸实验室,紫星光刻机无尘工作室。
今天一早,罗晟接到消息便来到了这里,此时在这间两万多平米的无尘室,几十名工程师和罗晟都穿着工作无尘服在里面,他的手里正拿着一块晶圆流片反复观察欣赏,这尺寸间的艺术正是紫星光刻机的杰作。
站在他身边的一位工程师兴奋使然的道:“光源的转换效率达到了一致,也实现了正确的控制,团队攻克了250瓦光源,客户可以达到每小时155片晶圆吞吐量,而在实验室里,则是可以实现超过300瓦的光源功率,完成最后的测试紫星设备就可以正式出货了。”
全球几家顶尖的芯片制造商一直以来都坚持250瓦的光源功率是达成每小时155片晶圆生产量吞吐的必要条件,而asml与光源技术供货商cymer到现在为止还未能实现这一光源功率目标,这家公司两年前被asml收购,但进展有限,这也是asml在进来发展不顺的原因,虽说他们已经提前一步搞出了极紫外光刻机了。
罗晟把手里的流片交给旁边的工程师,笑道:“干得不错,我们现在可以有底气说出半导体制造设备最重要的光刻机,我们领先世界了,国内的半导体厂商拿着大把的钞票去求着asml购买还得看对方心情这种局面,该结束了。”
在场的人听到这话也是倍感振奋,在罗晟的话音刚落后,都止不住内心的激动心情而鼓掌,为国产半导体事业里程碑式的突破而鼓掌,也为自己的事业为自己鼓掌。
两千多个日日夜夜的奋战,不为别的,就为了争一口气。
几万名工程师、研究员、几百家厂商配合,集中火力朝着一个点不断的发起火力冲击,而罗晟在这两千多个地球日照循环里,仅仅在极紫外光刻机设备的研发上就投入超过了1000亿美元,是asml公司在极紫外光刻机研发投入的五倍之多。
但毫无疑问,这一切都是值得的。
被调来负责紫星光刻机项目的总监李淳胜道:“与业界2012年约25瓦的光源相比较而言,250瓦光源意味着十倍的进步。而asml的工程师在简报euv生产经济学时很无奈的表示:250瓦光源功率永远都是明年的目标,哈哈。”
国产半导体一直不如外国人,国内相关从业者的信心在很长一段时间是备受打击的,这一次的突破不但是切切实实的成果突破,也给国产半导体事业的有志之士们莫大的信心。
信念这个东西听起来有点玄,尤其是从事科技工作,但有时候真的很重要,这是士气问题。
紫星光刻机成功先于asml公司的nxe搞定,虽然对方迟早会解决这个问题,并且也不会等太久了,但这在半导体设备领域绝对是里程碑式的事件。
因为这将打破全球半导体产业链的格局,也必将会推动整个行业进入全新的时代。
罗晟看着在场的技术员们,他能看得出每一个人此刻的内心都很难平静,道:“外面总有人一直说我们技术开发不可能成功,我们的人才不如外国人。确实花了很长的时间,很大的人力、物力和财力的投入,但我们终究还是抵达了终点,走到了外面所有人都认为不可能走到的地方。”
值得一提的是,除了达成光源功率这一里程碑,还有紫星光刻机工具跌对性能的大幅改善,以及产业界在布建紫星光刻机基础建设方面的进展也传来捷报,包括光罩、光罩护膜以及光阻剂等。
队伍里出了一些猪队友,但大部分还是靠谱的。
极紫外光刻技术的突破,意味着摩尔定律的生命再次得到延续,但这不是一家两家厂商能完成的,对于国产集成电路事业而言,外国人根本不带你玩最高端的,只给你玩他们玩剩下的。
所以罗晟打造的国产半导体产业
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